Index: lib/Support/Path.cpp
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--- lib/Support/Path.cpp
+++ lib/Support/Path.cpp
@@ -1147,6 +1147,14 @@
   }
   FD = -1;
 
+#ifndef _WIN32
+  if (RemoveEC.value() == ETXTBSY) {
+    RemoveEC = fs::remove(TmpName);
+    if (!RemoveEC)
+      TmpName = "";
+  }
+#endif
+
   return errorCodeToError(RemoveEC);
 }